言語種別 日本語
発行・発表の年月 2007/09
形態種別 その他論文
標題 NEC 大容量DRAM用HSG-Siキャパシタの開発と実用化
執筆形態 単著
掲載区分国内
出版社・発行元 一橋大学イノベーションセンター
著者・共著者 坂本雅明