言語種別 日本語 発行・発表の年月 2007/09 形態種別 その他論文 標題 NEC　大容量DRAM用HSG-Siキャパシタの開発と実用化 執筆形態 単著 掲載区分 国内 出版社・発行元 一橋大学イノベーションセンター 著者・共著者 坂本雅明